AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理,直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件,并采用哈氏合金传感器,V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用,AX10FC也同样适用。 AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样,具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。 产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,*及各种分析,科研院所实验设备。 产品特点
● 直接热式原理,无层流元件 ● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道 ● *测量和控制气体的质量流量 ● 预热时间短,零漂小,可靠性高 ● 多种气体可选,也可自行输入 技术参数
技术指标 | AX10FC-RC质量流量控制器 | AX10FC-RM质量流量控制器 | 量程范围 | 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM | 控制范围 | 控制器20:1 | 流量计20:1 | 准 确 度 | 流量:±3%F.S 压力:0.5% F.S 温度:±1℃ | 线 性 | ±0.5%F.S | 重复精度 | ±0.2%F.S | 响应时间 | 100ms | 10ms | 数 字 量 | RS232/485,MODBUS协议 | 模 拟 量 | 0~5V、4~20mA、1~5V | 供电 | 12V/24V/±15V可选 | 工作温度 | 0~50℃ | 工作压力 | 工作压差:0.03~0.5MPa | 工作压降:<0.01Mpa | 大耐压 | 低压1MPa,中压3MPa,高压10MPa | 电气连接 | DB15孔 | 漏 率 | 1×10-9SccsHe | 温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | 底座材质 | 316L | 密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶 | 接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 |
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