仪器名称:高精度气体流量计 热式质量流量计 AX10FD氮气流量计 | |
产品品牌:西安奥信 | |
仪器类别:其它流量计 | |
市场价格:洽谈 元/台 | |
人气: | |
咨询电话:029-88651096 88638823 | |
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::产品简介:: |
高精度气体流量计 热式质量流量计 AX10FD氮气流量计 用途与特点 质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、*和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 主要技术指标 量程范围 (20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10)SLM 准确度 +1.5%F.S 线性 +0.5~1.5%F.S 重复精度 +0.2%F.S 响应时间 10sec 气特性:(1~4)sec 工作压差 0.1~0.5MPa 耐压 3Mpa 6Mpa 10Mpa 工作环境温度 0~70℃ 数字量 RS485 MODBUS 协议 模拟量 DC 0~5V ,4~20mA 可选 电特性:SLM 供电 DC +15V/24V 可选,流量计<50mA,控制器<200mA 电气连接 DB15 漏率 1×10 SCCSHe 底座材质 316L 不锈钢 密封材质 氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶 气路接头 Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞 注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定. 质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分) 高精度气体流量计 热式质量流量计 AX10FD氮气流量计 |